美国怀疑ASML EUV光刻机非法流入中国，称掌握证据却拒绝公开

6月20日消息，近日，美国政府公开质疑荷兰ASML将其最先进的EUV光刻机设备悄然出口至中国，而ASML方面对此则坚决否认。

美国商务部长Howard Lutnick向ASML高层提出质询，担心其违反出口管制规定，EUV光刻机设备流入了中国，成为中国在此领域取得重大突破的主要推手。

美国政府没有公布任何相关证据，但是多名美国政府高级官员透露，他们掌握的线索显示，ASML曾向中国出口EUV光刻设备的相关装置，其中包括专门用于“转运EUV光刻机”的配套系统。

这些官员都拒绝披露任何佐证材料，声称是出于信息敏感的考量。

根据臭名昭著的《瓦森纳协定》，ASML不得向中国客户交付EUV设备和技术。

事实上，中国此前只有中芯国际向ASML采购过一台EUV光刻设备，但至今仍留在荷兰。

对此，ASML表示，相关指控“毫无依据”，而且“极具负面影响”。

ASML的一位发言人说：“近年来，已有多起有关ASML违反对华出口管制的不实传言，我们均进行过辟谣。这些虚假说法不仅违背事实，还严重损害公司声誉。”

不过同时，ASML强调完全理解西方国家对中国芯片制造领域的顾虑，但自己从未向中国出口EUV光刻设备，因为不但一直受到《瓦森纳协定》的约束，又叠加了各国尤其是美国、荷兰新出台的出口管制条例。

ASML官方表示：“我们长期与全球各国政府高层保持透明、坦诚的沟通。我们充分理解美国与荷兰出台出口管制法规背后的国家安全考量。作为企业，我们严格遵守所有适用于自身经营活动的法律法规，包括全部相关出口管制条例。一旦凡出口管制政策更新，我们都会同步调整业务模式，确保完全合规。”

据悉，ASML内部还展示了一份资料，显示全球共有314台ASML EUV光刻机正在使用中，还有26台已退役，均不在中国大陆境内。

同时，ASML EUV光刻机会始终与ASML保持后台联网，便于实时监测设备失联、异常操作、通信故障等情况。

另外，EUV设备的转运、拆装、重装都有严苛的专业物流操作标准，客户没有官方技术支持，是无法自行拆解、转运并重新装机的。

事实上，EUV光刻机包含数十万个零部件，整机重达180吨，必须拆分后通过多架飞机空运，根本不可能悄无声息地完成，也不可能依靠零散备件、报废零件拼装还原成整机的，更不可能通过拆解零部件进行逆向仿制。