蔡司高管预测:中国将在15年内制造EUV光刻机,但制裁将迫使其成为“技术疯子”
2026-09-03 13:53:37
9月3日消息,ASML EUV光刻机光学元件独家供应商、德国蔡司集团半导体事业负责人Frank Rohmund近日接受采访时表示,中国要开发出EUV光刻机大约还需要15年。
他称这是一个合理的推测,同时也坦言中国在这方面的实际进展难以量化。

ASML是目前全球唯一能制造EUV光刻机的企业,而EUV技术是生产英伟达AI加速器等最先进芯片不可或缺的关键技术。技术本身越重要,掌握技术的话语权就越大。美国正是利用这一优势,将其转化为对华芯片产业的压制工具。
美国已禁止ASML向中国出口EUV设备和部分先进的浸润式DUV光刻机,美国国会议员也在持续推动出口管制扩展至所有DUV光刻机。
对于美国祭出的无理的出口管制措施,Rohmund明确表示,若未来进一步扩大至传统DUV设备,将对产业造成不利影响。他直言:“我们不相信这些出口管制会带来正面效果,因为这反而会加速中国的创新。”
说白了就是制裁压力反而会逼着中国研发团队拼命追赶,某种意义上是在把对手逼上技术狂奔的路。这一判断与ASML CEO富凯此前的表态如出一辙,收紧对华出口管制,将加速中国自主研发替代设备的步伐。
蔡司方面也承认,中国在浸润式DUV光刻机领域已取得进展。据报道,一家总部位于上海的公司已开始制造这类设备。Rohmund表示,中国已投入相关技术研发数十年,因此中国近期取得进展并不令人意外。
但他同时强调:“现在我们必须观察这些设备实际上究竟有多大的能力,因为我们目前仍遥遥领先。”
蔡司是全球约80%芯片所使用的光学元件的供应商。ASML于2017年以10亿欧元收购了蔡司半导体事业的少数股权。

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