深圳光芯片晶圆厂通线，单纤容量暴增20倍，助力制造短板补齐

10月16日消息，据报道，深圳鹏城实验室在第六届学术活动周期间正式发布超级光直连系统与光芯片系列技术成果，国产光芯片工艺平台河套线同步通线。

这是国内少有的面向光通信异质集成光芯片工艺的量产技术验证平台，标志着国产光芯片在高端制造环节迈出关键一步。

“河套线”全称为特大容量光通信高性能异质集成光芯片工艺平台，落址于深圳河套深港科技创新合作区。平台建设有超1000平方米全百级超净实验室，采用“硅光无源工艺+晶圆级异质集成工艺”技术路线，搭建起紫外光刻、薄膜沉积、干法刻蚀及晶圆级多材料直接键合等完整模块化工艺能力。

目前，平台已完成高速薄膜铌酸锂调制器芯片制备，以及硅基III-V族、硅基薄膜铌酸锂的晶圆级异质键合工艺验证，具备为光通信、光互连等领域提供定制化新材料前沿工艺的验证能力。

在核心光芯片器件层面，团队基于28nm CMOS工艺节点突破100GHz宽带放大器，研制出国际首个单波400G PAM-4全CMOS工艺光电集成发射机。同时还研发出O、S、C、L波段一体化外腔窄线宽可调谐激光器，调谐覆盖范围达300nm。

系统成果同样亮眼。该团队研制的直调直检800G密集波分复用光模块，实现单纤16Tb/s实时传输，容量是目前商用直调直检方案的20倍。

此外，项目还实现了24.8Tb/s、1.2万公里超长距离空芯光纤传输，以及20.2Pb/s实时光交换系统，可同时支持316路光纤交换。

鹏城实验室副主任余少华表示，要坚持把房子盖在自家的地基上，把核心芯片和系统的自主权牢牢掌握在自己手中。此次成果可为中国算力网规模化部署、跨域算力高效调度提供核心技术支撑。